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Scuola Normale Superiore – NEST Micro e nanofabbricazione in clean room

NEST, National Enterprise for nanoScience and nanoTechnology, è un centro di ricerca e formazione interdisciplinare in cui fisici, chimici e biologi svolgono ricerca scientifica su scala nanometrica. Questa conoscenza viene sfruttata per sviluppare innovativi strumenti nanobiotecnologici, dispositivi e architetture nanoelettroniche e fotoniche. Quindi, si affrontano attività di ricerca che vanno dalla progettazione di nanostrutture di semiconduttori/superconduttori, dalla crescita e dall'indagine sperimentale agli studi a singola molecola in cellule e tessuti vivi. Nonostante questa ampia portata, gli scienziati del NEST adottano un approccio unificato grazie alla stretta integrazione culturale dei suoi team multidisciplinari che è caratteristica delle nanoscienze.

Strumentazione:
• CBE-Crescita nanofili semiconduttori
• SPUTTERING DC, RF-Deposizione film sottili
• RIE-PECVD-Attacchi chimici a secco e deposizione di film sottili dielettrici
• ICP-RIE-Attacchi chimici a secco su semiconduttori III-V
• ALD-Deposizione dielettrici sottili
• Wet etching-Attacchi chimici a umido
• CPD-Rilascio di sistemi MEMS e NEMS
• NIL-Fabbricazione mediante stampa a contatto prossimo
• Mask Aligner-Fotolitografia
• LASER WRITER-Fotolitografia maskless
• EBL-Litografia elettronica per nanofabbricazione
• Misuratore di angolo di contatto-Misurare le caratteristiche di bagnabilità di un substrato
• WEDGE BONDER–Microsaldature di fili per dispositivi elettronici (microchip)

Indirizzo:
Piazza San Silvestro, 12, Pisa